Materiale av isolerende keramisk underlag

Som et resultat, for å gjøre den isolerendekeramisk underlag, er det nødvendig å ha høy varmeledningshastighet og mekanisk styrke. Som et materiale for isolering av keramiske underlag kan det listes opp, som aluminiumnitrid og silisiumnitrid, men for isolasjonenkeramisk underlagved bruk av aluminiumnitrid, fordi varmeledningshastigheten er høy, men den mekaniske styrken er lav, er det lett å produsere slike sprekker. Krafthalvledermodulen for denne typen struktur som brukes til å påføre en stor spenning på det keramiske underlaget. Derfor, i den følgende patentlitteraturen 1, er en forekomst av silisiumnitridplate offentlig publisert for å redusere forholdet mellom glassfase med lav varmeledningshastighet og øke den termiske ledningsevnen til silisiumnitridplaten med lav varmeledningshastighet. Følgende er det første kjente eksemplet på denne teknikken;

I tillegg, i den følgende patentlitteratur 2, tilfeller av silisiumnitridkeramikkMaterialer offentliggjøres offentlig for å gjøre krystallriket iboende, for å gjøre silisiumnitridkorn mer fast kombinert gjennom krystallfasen i linsen. For å forbedre intensiteten. Teknologien er det andre kjente eksemplet; i tillegg, i den følgende patentlitteraturen 3, er et eksempel på publisering av silisiumnitrid varmeavledningskomponenter offentlig tilgjengelig. Silisiumnitrid varmeavledningsdeler. Teknologien er det tredje kjente eksemplet; i tillegg er det i den følgende patentlitteraturen 4 eksempler på silisiumnitridsintringslegemer. Sti-of-sarkasme med utmerket effekt.